AE气相沉积炉(CVD)

发布于:2020-11-14 18:25 来源:广州甲工科技



气相沉积

化学气相沉积(CVD)技术是在一定的真空气氛条件下,利用加热元件发热的原理将工作管内加热到一定温度后,通入气体,气体在高温下裂解后沉积于样品表面,达到组织增密的目的;是一种材料生长或反应的新制备技术。
气相沉积炉由管式炉、温度控制柜、气体控制柜、真空控制柜和密封系统组成。

产品优点
·  .可选配滑轨式设计,实现工作管内快速加热和快速冷却   
·   单温区或三温区加热,加热区长度:300mm、 600mm和900mm,恒温区长度: 150 mm、300mm和450mm (±1-2°C)两端堵上 
·   最高工作温度有:1200°C、1500°C和1700°C
·   提供一个宽范围的材料制备,如碳和ZnO 纳米管或纳米线以及单层石墨烯等。